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空気圧を利用したロールプレス構造により、張力を無くし均一の圧力で張り付けるのでマスクフィルムに無理な応力がかからず寸法変化がありません。高精度を維持したままフィルム、ガラス乾板など各種素材の表面保護が可能です。
薄膜で光学特性に優れたレジストインクの付着し難いファインパターン対応グレードです。大切なフォトマスクの膜面保護にお薦めします。
フォトマスク
フォトマスク
表面保護加工
ラミネート表面保護加工
大切なマスクをお守りします
均一な圧力で貼り付けるロールプレス構造で、マスクフィルムに無理な応力がかからず寸法変化がありません。高精度を維持したままフィルム、ガラス乾板など各種素材の表面保護が可能です。貼り付け直前に除電ブラシと内蔵クリーニングユニットが除塵。薄膜で光学特性に優れ、量産工程に適しています。10mmまでの厚みの各種素材に対応。ガラスマスク等、大切なフォトマスクの膜面保護にお薦めします。
ラミネート1 ラミネート2
特長
ロールプレス構造で張力を無くし均一の圧力で貼り付け
除電ブラシとクリーニングユニット内蔵で貼り付け直前に除塵
厚みは10mmまで、ガラスマスクなどの各種素材に対応
総厚12μの薄膜、光学特性に優れたファインパターン対応
仕様
ラミネート総厚
12μm
短辺サイズ
〜510mm
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