高精度、高解像、湿度、温度による寸法変化の少ない光学マスクです。エマルジョンガラスマスクは表面が傷つき易いという欠点がありますが、サン工芸では高機能フィルムを表面に貼ることでその問題を回避しています。クロムマスクは表面耐久性が高くなっています。 |
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フォトマスク
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ガラスマスク |
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伸縮のないファインパターンを実現します |
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ガラスマスクは高精細、高精度で優れた光学特性を誇り、湿度、温度による寸法変化の少ない光学マスクです。
エマルジョンマスク
基材は湿度による伸縮がなく寸法安定性に優れています。解像性が高くシャープな画質が得られます。高機能フィルムを使用した表面保護処理もご要望により承ります。
クロムマスク
マスク膜面が金属であるため、フィルムあるいはエマルジョンのガラスマスクと比較して露光時の耐久性が非常に高く、膜面が薄いため光学再現性に優れています。
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温度・湿度による基材の伸縮がほとんどない |
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PDP、LCD、FPCに対応 |
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エマルジョン、クロムマスク等にも対応 |
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表面保護処理あります |
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対応サイズ
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4×4inch〜
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基材厚
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1.6㎜〜
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基材
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ソーダライム/人工石英
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温度1℃による変化
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8.1μm/℃/0.5μm/℃(1m換算)
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湿度1%による変化
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≒0μ/%(1m換算)
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