 |
|
レーザー顕微鏡ではトップの実力を誇るキーエンスの最高峰VK9500を導入
”ありのまま”の状態を捉える 非破壊、非接触、通常環境においての表面解析が可能な共焦点レーザー顕微鏡です。
光学拡大・表面解析の限界を追及する解像度を持っています。 |
|
| 可視光限界波長の４０８ｎｍのバイオレットレーザーを使い平面分解能0.14ｎｍＺ軸計測分解能0.01μｍという電子顕微鏡にも迫る性能でますます微細化する最新テクノロジーに必須の観察、計測ツールです。 |
|
超深度リアルカラー３Ｄ解析による、表面形状解析。
カラーデータを捕らえるため、高解像度のカラーＣＣＤを使用しています。
電子顕微鏡のモノクロ画像や光学顕微鏡の深度の浅い観察像に比べ、画面の全てにピントがあった「高解像度カラー超深度画像」で、微細なイメージを手にとるように観察できます。 |
|
|
|
|
 |
|
 |
|
ワイヤボンディング接合部の形状計測例
［×1000] |
|
|
| プロファイル計測 |
|
|
|
| カラー超深度画像上の任意の部分に引いた直線（水平線･垂直線･自由線）に対して、その部分の「プロファイル」を計測することができます。プロファイル上の２点間の高さ幅・角度が計測できます。画面上でポイントを指定できるため、微細な箇所も簡単に計測できます。 |
|
|
|
 |
|
金メッキ表面の線粗さ計測例
［×3000] |
|
|
| 線粗さ計測 |
|
|
|
| カラー超深度画像上の任意の部分に引いた直線（水平線・垂直線・自由線）に対して、その部分の「線粗さ」が計測できます。従来の粗さ計では測定できなかった、接触すると形状が変化するような、柔らかい対象物や、ウェット状の対象物などの「粗さ」も正確に計測できます。 |
|
|
|
 |
|
インクジェッタプリントインク体積計測例
［×1000] |
|
|
| 表面積・体積計測 |
|
|
|
| カラー超深度画像上の任意の指定した領域の「面積」、「表面積」、「体積」の計測ができます。液晶カラーフィルター上のスペーサー、ガラスのシール材、基板上のビアホール、基板銅箔表面など、微小で高精度な対象物の管理に最適です。 |
|
|
|
 |
|
太陽電池パネル表面の面粗さ計測例
［×400] |
|
|
| 面粗さ計測 |
|
|
|
| カラー超深度画像上の任意の部分に指定した矩形領域に対して、「面粗さ」が計測できます。「表面粗さ」とは、「ライン」での計測ではなく「エリア」で計測することで、より表面の状態を正確にとらえることが可能になります。 |
|
|
|
